MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。 技術的な仕組み 私たちは、高速応答性と...