なぜウェーハヒーターの絶縁性能テストを徹底的に行うのか？ 私たちが作るウェーハヒーターは、非常に高い効率を発揮しつつ、厳しい熱的条件を満たさなければなりません。問題は、大量の電力を狭い空間に詰め込むと、ミスの余地が全くないということです。絶縁体にわずかな隙間があっただけで、装置が故障したり、基板が...

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか 正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるため...

フレークの発生を防ぐ：クラス100のクリーンルームでの加熱対策 クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営している方なら、ガス放出による問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかな破片やVOCがウエハーに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。 通常の加熱コイルは信頼性に欠けます...