感光材除去用加熱器

リソグラフィ工程フロアでは、フォトレジスト剥離中にサポートヒーターが停止するとラインが完全に停止する。ウェーハは残渣で積み上がり、不良率が増加し、スケジューラーは突然対応に追われる。必要なのは、熱制御でトラブルを起こさないことだけである。 技術的に重要な点 当社のフォトレジスト剥離用サポートヒータ...