熱の無駄遣いを止めよう：なぜ金コーティングが効果的なのか 真空チャンバー内で作業する際、私たちは物理法則と戦っているのです。空気がないため、熱を移動させる手段は放射しかありません。もしシリコンウェーハを加熱している際に、そのエネルギーがチャンバーの壁に漏れてしまうと、本来必要なエネルギーや時間が無...

真空環境でも使用可能な赤外線ヒーター：最高の性能を、高価格なしで実現します。 私たちの真空環境対応型赤外線ヒーターは、有名ブランド製品にも負けない性能を誇ります。精密な工業加熱が求めるクリアで安定したスペクトル出力を得られますが、ブランド名による高額な価格はかかりません。つまり、支払うのは性能その...

ウェーハフロアでは、フォトレジストのベイクは単なる加熱ではなく、熱予算の管理である。フィールド全体で0.5℃のずれが生じると、クリティカルディメンションが変わりかねない。また、再現性のない熱プロファイルは歩留まりを急激に低下させる。Leyboldの真空ヒーターの性能が低下し始めると、リソグラフィの...