マシンを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。 IRランプの問題点は、放射能があらゆる方向に放出されることです。反射器がなければ、エネルギーの半分が逆方向に向かい、機器の筐体や内壁を過度に加熱してしまいます。 半導体製造装置では、これは大きな問題です。結果として「高温の壁」ができてしまい、...

なぜウェーハの硬化処理において、熱風ではなく赤外線反射器を使うのか 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の非効率さはよく知っているでしょう。とても遅いのです。巨大な空間全体を加熱して、わずかなウェーハに熱を伝えるというのは、まるで家全体を温めるためにまず車道を温めようとするよ...

なぜIR硬化処理に金製の反射器を使用するのか 半導体業界では、「鉛フリー」で排出ガスが出ない処理方法が求められています。理論上は素晴らしいことですが、従来の対流式オーブンではこれに対応できません。対流式オーブンは、部品自体を加熱する代わりに、チャンバー内の空気を加熱するのにエネルギーを消費してしま...