ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。 ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。 機器が巨...

壁を加熱するのをやめよう：水素センサーを作るためのより良い方法 水素センサーを作るとき、温度は非常に重要です。しかし問題は、多くの人々が半導体製造装置の内部全体を加熱しようとしている点です。これは明らかな無駄遣いです。 さらに悪いことに、これは安全上のリスクも伴います。通常の対流式加熱器や「全体を...

化学物質がある場所での赤外線ヒーターの安全な使用法 もし、化学物質を除去するために赤外線ランプを使用しているのであれば、その危険性はよくご存知でしょう。燃えやすい蒸気や液体があらゆるものを破壊しようとするため、常に対処しなければなりません。通常の石英管では、1週間も持ちません。 問題を防ぐために、...

ウェハ処理において、1ワットのエネルギーも無駄にしてはいけない。従来の方法では、一般的な温度センサーを使用するため、大量の熱が空気中に放出されてしまう。これは明らかな無駄だ。そこで私たちは、金でコーティングされた温度センサーを開発した。これにより、熱を本来あるべき場所に戻すことができる。 要点は簡...

ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。 技術的な仕組み 私たちは、高速応答性と...