ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。 ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。 機器が巨...

なぜウェーハヒーターの絶縁性能テストを徹底的に行うのか？ 私たちが作るウェーハヒーターは、非常に高い効率を発揮しつつ、厳しい熱的条件を満たさなければなりません。問題は、大量の電力を狭い空間に詰め込むと、ミスの余地が全くないということです。絶縁体にわずかな隙間があっただけで、装置が故障したり、基板が...

なぜウェーハの硬化処理において、熱風ではなく赤外線反射器を使うのか 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の非効率さはよく知っているでしょう。とても遅いのです。巨大な空間全体を加熱して、わずかなウェーハに熱を伝えるというのは、まるで家全体を温めるためにまず車道を温めようとするよ...

ウェハ処理において、1ワットのエネルギーも無駄にしてはいけない。従来の方法では、一般的な温度センサーを使用するため、大量の熱が空気中に放出されてしまう。これは明らかな無駄だ。そこで私たちは、金でコーティングされた温度センサーを開発した。これにより、熱を本来あるべき場所に戻すことができる。 要点は簡...

ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。 技術的な仕組み 私たちは、高速応答性と...

ファブ内では、クリーニング後に残った水分は単なる迷惑な存在ではありません。その水分はソフトベイクの際にフォトレジストに浸透し、部品の寸法を変化させてしまいます。その結果、歩留まりが低下してしまいます。ウェハ用の水分除去ランプは、この問題に対処するために、リソグラフィ工程が損なわれる前に表面の水分を...