ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか 正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるため...

ウェーハが洗浄ステーションから出てくる様子を見てください。水滴の跡があってはいけません。フォトレジストは急な温度変化に耐えられません。もし乾燥機が適切な温度を維持できないと、歩留まりが悪くなり、再加工が必要になり、結果としてロット全体が廃棄されてしまいます。 技術的な仕組み 私たちは、高速応答性と...

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度の偏差が半度程度あっても、それは「許容範囲」とは言えません。その場合、ウェーハは廃棄処分されます。フォトレジストの乾燥は温度管理によって左右され、赤外線モジュールは、歩留まりを決定する重要な要素となります。 実際に重要なのは何か 私たちは、ウェーハ...

なぜ全てのヒーターを例外なくバーンインテストするのか 生産ラインを稼働させていると、ランプ1つの故障が単に作業を遅らせるだけでなく、すべてを停止させてしまいます。この点は理解しています。だからこそ、当社が出荷するすべてのヒーターは、工場から出る前にフルパワーのバーンインテストを必ず実施しています。...