電力を適切な場所に留めるために：半導体製造用ヒーターの配線について 半導体製造においては、わずかな電気漏れでも大きな問題となります。そのため、私たちはヒーターにテフロン（PTFE）コーティングされた配線を使用しています。これにより、高い温度に耐えられます。 しかし正直言って、素材だけが全てではあり...

なぜクリーンルーム用のトロリーに赤外線照射方式を採用するのか 正直に言えば、半導体チップを加熱するための従来の方法、つまり対流式や抵抗加熱器を使う方法はもう限界にきています。処理時間が長く、設備も複雑で、エネルギーの無駄遣いも甚だしいのです。だからこそ、赤外線照射方式への移行が進んでいるのです。特...

なぜ金メッキされた赤外線ランプが、製造ラインにとって重要なのか スマートな製造ラインを構築する際、熱の管理は大きな課題となります。多くの場合、一般的な石英ランプが使われますが、問題点があります。それは、このランプから発生する熱があちこちに散乱し、エネルギーが無駄に消費され、本来冷却されるべき部分も...

なぜ、無鉛処理において赤外線硬化法を採用したのか？ 正直に言うと、従来の対流式オーブンではもはや十分ではありません。業界が無鉛はんだを使用するようになってから、すべてが変わりました。このような合金を加熱するには、より多くの熱が必要です。しかし問題は、基板が1時間も高温の中に置かれることに耐えられな...

フレークの発生を防ぐ：クラス100のクリーンルームでの加熱対策 クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営している方なら、ガス放出による問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかな破片やVOCがウエハーに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。 通常の加熱コイルは信頼性に欠けます...

ファブ内では、フォトレジストの焼成は任意の工程ではなく、必須の工程です。ウェーハ全体でわずか0.5°Cの温度変化があっても、重要な寸法が変わり、歩留まりが悪化してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、半導体用のラボ用オーブン用ランプを開発しました。 実際に重要なのは何か 結局のとこ...