ウェーハ加熱時の安全距離

ファブの現場では、フォトレジストの焼成処理は、厳守しなければならない熱的条件に関わるプロセスです。温度が10ミリ秒だけ変動したり、ヒーターとウェーハの間の位置が1ミリだけずれてしまうだけで、パターンが崩れたり、端部分に不良が発生したり、最悪の場合はロット全体が廃棄されてしまいます。ウェーハを加熱す...