省エネ型半導体ヒーター

フレークの発生を防ぐ：クラス100のクリーンルームでの加熱対策 クラス100（ISO 5）のクリーンルームを運営している方なら、ガス放出による問題がどれほど深刻かご存知でしょう。わずかな破片やVOCがウエハーに付着するだけで、生産効率が急激に低下してしまいます。 通常の加熱コイルは信頼性に欠けます...