熱エネルギーを無駄にしないで：ウェーハを効率的に硬化させる方法 正直に言って、半導体製造工場は巨大なエネルギー消費源です。そのエネルギーの行方を見てみると、かなりの量が単に熱として無駄になっています。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは大型の対流式オーブンでした。しかし問題は、ウェーハを適切な...

なぜウェーハの硬化処理において、熱風ではなく赤外線反射器を使うのか 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の非効率さはよく知っているでしょう。とても遅いのです。巨大な空間全体を加熱して、わずかなウェーハに熱を伝えるというのは、まるで家全体を温めるためにまず車道を温めようとするよ...