ポリイミド焼成赤外線ランプ

ライン上では、時間は誰も待ってくれない。300 mmウェーハはコートからソフトベークへ、次に露光へと流れ、その最初の数分間で設定した熱予算がCD均一性、側壁角度、そして最終的には歩留まりのルールを決定する。ベークランプがドリフトを始め、フィールドにホットスポットを散らしたり、完全に故障したりすると...