サファイアウエハ処理ヒーター

ファブフロアでは、その2インチサファイアウエハがリソグラフィトラックの下に置かれ、ソフトベイクを待っている。熱電対が示す温度だけでなく、ウエハ全体で110℃が必要だ。これより低ければフォトレジストのプロファイルがずれ、高ければ熱予算を消費してしまう。 技術的に重要なポイント サファイアウエハ処理に...