製造工程における乾燥処理のエネルギー診断

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか 正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるため...