高速応答赤外線ヒーターバルブ

ウェーハフロアでは、時間の単位は秒であり、温度ドリフトは歩留まりに影響を与える可能性があります。フォトレジスト処理において、ソフトベイクは溶剤を除去し、フィルムの均一性を確保するプロセスです。ハードベイクは、エッチングに耐える必要がある架橋を固定します。もし熱源が設定温度に瞬時に到達できず、ウェー...