たった1本のチューブが破損しても、全体の製品が台無しになってしまうことがあります。それは悲惨な状況です——重負荷によって赤外線チューブが破損し、ウェーハがガラスの破片やハロゲン系の残留物で覆われてしまいます。そうなると、そのバッチ全体が廃棄処分になってしまいます。 私たちも同じ経験をしました。だか...

バイオセンサー製造における適切な温度管理 バイオセンサーを製造する際、温度は非常に重要です。ポリマーの硬化や生物活性層の形成には、正確な温度が必要です。そうでなければ、製品全体が使い物にならなくなってしまいます。 長年にわたり、多くの人々は対流式オーブンを使用してきました。しかし、スマートファブを...

なぜバイオセンサーやチップの製造に赤外線を使用するのか？ バイオセンサーを作るときは、微妙なバランスが求められます。ポリマーや試薬を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、熱を過度に与えると基板が損傷し、全体がダメになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを利用します。部屋の空気...

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。 IRランプの問題点は、放射能があらゆる方向に放出されることです。反射器がなければ、エネルギーの半分が逆方向に向かい、機器の筐体や内壁を過度に加熱してしまいます。 半導体製造装置では、これは大きな問題です。結果として「高温の壁」ができてしまい、...

熱エネルギーを無駄にしないで：ウェーハを効率的に硬化させる方法 正直に言って、半導体製造工場は巨大なエネルギー消費源です。そのエネルギーの行方を見てみると、かなりの量が単に熱として無駄になっています。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは大型の対流式オーブンでした。しかし問題は、ウェーハを適切な...

もうオーブンを待っている時間は無駄です。なぜなら、クリーンルームでは赤外線ランプの方がホットエアより優れているからです。半導体製造に携わったことがある人なら、待つという苦しさを知っているでしょう。ただ立って、ホットエアチャンバーを見つめながら、温度が安定するのを待つしかありません。 しかし最近では...

なぜウェーハの硬化処理において、熱風ではなく赤外線反射器を使うのか 半導体製造に携わったことがある人なら、熱風を使った加熱方式の非効率さはよく知っているでしょう。とても遅いのです。巨大な空間全体を加熱して、わずかなウェーハに熱を伝えるというのは、まるで家全体を温めるためにまず車道を温めようとするよ...

なぜ半導体製造工場には石英ガラス製のシールドが必要なのか 半導体製造工場では、熱管理が最も重要です。わずかな温度の変動でも、高価なウェーハが廃棄物に変わってしまいます。私たちの多くは、迅速な硬化や焼成を行うために赤外線ヒーターを使用しますが、そのヒーターをそのまま放置しておくわけにはいきません。そ...

バイオセンサーのための適切な温度管理 バイオセンサーを作る際には、非常にデリケートな有機層を扱うことになります。温度を間違えるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線を利用します。クリーンルームでは空気全体を加熱するのは問題が多いのですが、赤外線なら基板に直...

なぜ金メッキされた赤外線ランプが、製造ラインにとって重要なのか スマートな製造ラインを構築する際、熱の管理は大きな課題となります。多くの場合、一般的な石英ランプが使われますが、問題点があります。それは、このランプから発生する熱があちこちに散乱し、エネルギーが無駄に消費され、本来冷却されるべき部分も...

揮発性化学物質を使って清掃する際の安全対策 正直言って、可燃性の蒸気や腐食性の液体の近くで赤外線ヒーターを使うのは、まるで火遊びのようなものです。実際、そういった場所で普通のランプを使えば、災害を招くことになります。わずかな火花や過熱だけで、大きな問題が生じてしまいます。 そのため、私たちは単にラ...

なぜ半導体製造には金メッキ処理が施されたツインチューブ型の赤外線ランプが使われるのか？ 半導体業界では、「環境に優しく、鉛を含まない乾燥方法」が求められています。それも当然です。長年、私たちは対流式オーブンを使ってきましたが、正直、これらはエネルギーの消費量が多すぎます。部品自体を加熱する代わりに...

リンス・ドライ工程でのIRランプを安全かつ乾燥した状態に保つ方法 正直に言って、水と電気は最悪の組み合わせです。リンス・ドライ工程でIRランプを使用すると、至る所に蒸気や水分が飛び散ります。もしそうした水分が加熱要素に入り込んでしまうと、ランプが壊れるだけでなく、ブレーカーが作動したり、最悪の場合...

オゾンを発生させない赤外線ランプを破損から守る方法 オゾンを発生させない赤外線ランプについて話すとき、人々は通常、科学的部分に焦点を当てます。つまり、185nmの波長の光を排除することで、酸素分子が分解されないようにする方法です。それも確かに重要です。しかし正直なところ、ランプ自体が故障して機械が...

製造現場においては、フォトレジストの露光や加熱処理の段階では、温度の変動を許容できません。ランプの出力が数度だけ変動しても、熱バランスが崩れてしまい、工程が停止してしまいます。私たちは、シフトごとに熱バランスを維持するために、この特殊なフィラメントを開発しました。 技術的に重要な点 このフィラメン...

リソグラフィー装置のフロア上では、低温での焼成による影響は明らかな故障としては現れません。代わりに、線幅の変動やレジスト内に残留する溶剤、そして数時間後に発生するスクラップといった問題が現れます。必要なのは、回を重ねても、レジストの温度を所定の範囲内に保つことができるランプです。 技術的に重要な点...

ファブ内では、クリーニング後に残った水分は単なる迷惑な存在ではありません。その水分はソフトベイクの際にフォトレジストに浸透し、部品の寸法を変化させてしまいます。その結果、歩留まりが低下してしまいます。ウェハ用の水分除去ランプは、この問題に対処するために、リソグラフィ工程が損なわれる前に表面の水分を...

ファブ内では、フォトレジストの焼成は任意の工程ではなく、必須の工程です。ウェーハ全体でわずか0.5°Cの温度変化があっても、重要な寸法が変わり、歩留まりが悪化してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、半導体用のラボ用オーブン用ランプを開発しました。 実際に重要なのは何か 結局のとこ...

リソグラフィ工程において、ベイク温度の0.5℃のドリフトは、ウェーハロット全体の廃棄を招く要因となる。ソフトベイクおよびハードベイクは単なる加熱サイクルではなく、寸法管理そのものである。ランプがウェーハ全体で設定温度を維持できなければ、CD均一性が崩れ、歩留まりにも悪影響を及ぼす。 スピンコーター...

ライン上では、時間は誰も待ってくれない。300 mmウェーハはコートからソフトベークへ、次に露光へと流れ、その最初の数分間で設定した熱予算がCD均一性、側壁角度、そして最終的には歩留まりのルールを決定する。ベークランプがドリフトを始め、フィールドにホットスポットを散らしたり、完全に故障したりすると...