ラム・リサーチのヒーター交換

Lam Researchのヒーター交換：実際に効果的な、仕様に合わせた赤外線ヒーターの交換方法 さっそく本題に入りましょう。 Lam Researchのプラットフォームに物理的に取り付け可能なヒーターランプは簡単に見つかります。しかし、実際にその機能を果たせるでしょうか？チャンバーの熱的要求に応え...