省エネ型ウェーハヒーター

なぜウェーハヒーターの絶縁性能テストを徹底的に行うのか？ 私たちが作るウェーハヒーターは、非常に高い効率を発揮しつつ、厳しい熱的条件を満たさなければなりません。問題は、大量の電力を狭い空間に詰め込むと、ミスの余地が全くないということです。絶縁体にわずかな隙間があっただけで、装置が故障したり、基板が...