赤外線ランプ用アルミニウム反射板

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。 IRランプの問題点は、放射能があらゆる方向に放出されることです。反射器がなければ、エネルギーの半分が逆方向に向かい、機器の筐体や内壁を過度に加熱してしまいます。 半導体製造装置では、これは大きな問題です。結果として「高温の壁」ができてしまい、...