製造現場において、熱変動というのは、スプレッドシートで追跡するような単なる数値ではありません。それは、効率が24.5％のCIGSセルと、廃棄物だらけのものとの違いを決定づける要素です。もし熱変動がソフトベイク工程に影響を与えれば、回路線幅が乱れてしまいます。また、エンカプセル剤の硬化が不均一になる...

ファブフロアでは、その2インチサファイアウエハがリソグラフィトラックの下に置かれ、ソフトベイクを待っている。熱電対が示す温度だけでなく、ウエハ全体で110℃が必要だ。これより低ければフォトレジストのプロファイルがずれ、高ければ熱予算を消費してしまう。 技術的に重要なポイント サファイアウエハ処理に...