半導体実験室用オーブンランプ

ファブ内では、フォトレジストの焼成は任意の工程ではなく、必須の工程です。ウェーハ全体でわずか0.5°Cの温度変化があっても、重要な寸法が変わり、歩留まりが悪化してしまいます。私たちは、このような状況に対応するために、半導体用のラボ用オーブン用ランプを開発しました。 実際に重要なのは何か 結局のとこ...