半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

なぜクリーンルーム用のトロリーに赤外線照射方式を採用するのか 正直に言えば、半導体チップを加熱するための従来の方法、つまり対流式や抵抗加熱器を使う方法はもう限界にきています。処理時間が長く、設備も複雑で、エネルギーの無駄遣いも甚だしいのです。だからこそ、赤外線照射方式への移行が進んでいるのです。特...