ウェーハ用高精度IRセンサー

ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。 ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。 機器が巨...