半導体製造工場での無駄なエネルギー消費を止めよう 半導体製造工場をアップグレードする際、多くの場合、単により多くの電力を投入しようとします。しかし実際には、それが必ずしも最善の解決策とは限りません。重要なのは、電力が本来あるべき場所に届くようにすることです。 一般的な石英ランプは、エネルギーが背面...

ファブ内での二酸化炭素削減：なぜ赤外線加熱が最適なのか 正直に言えば、多くのファブでは依然として古い方式の対流式オーブンや従来のヒーターを使ってウェーハを乾燥させています。これがこれまでの慣習です。しかし問題は、こうしたシステムはエネルギー消費が激しいということです。数枚のウェーハを乾燥させるため...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜファブでIR加熱が強制送風より優れているのか もし依然としてホットエア循環方式を使ってウェハを加熱しているのであれば、それは本来不要な待ち時間を過ごしているだけです。 強制送風方式の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つので...

熱エネルギーを無駄にしないで：ウェーハを効率的に硬化させる方法 正直に言って、半導体製造工場は巨大なエネルギー消費源です。そのエネルギーの行方を見てみると、かなりの量が単に熱として無駄になっています。 長年にわたり、一般的に使われてきたのは大型の対流式オーブンでした。しかし問題は、ウェーハを適切な...

なぜ、鉛フリー半導体の製造に赤外線を使用するのか 半導体業界では、「鉛フリー」で「ゼロ排出」の乾燥方式が求められています。正直、そろそろそうすべき時期です。長年にわたり、私たちは大きな対流式オーブンに頼ってきました。しかし、これは単に空気を加熱するだけであり、エネルギーの無駄遣いになります。さらに...

なぜ半導体製造工場には石英ガラス製のシールドが必要なのか 半導体製造工場では、熱管理が最も重要です。わずかな温度の変動でも、高価なウェーハが廃棄物に変わってしまいます。私たちの多くは、迅速な硬化や焼成を行うために赤外線ヒーターを使用しますが、そのヒーターをそのまま放置しておくわけにはいきません。そ...

揮発性化学物質を使って清掃する際の安全対策 正直言って、可燃性の蒸気や腐食性の液体の近くで赤外線ヒーターを使うのは、まるで火遊びのようなものです。実際、そういった場所で普通のランプを使えば、災害を招くことになります。わずかな火花や過熱だけで、大きな問題が生じてしまいます。 そのため、私たちは単にラ...

高温型赤外線ハロゲンランプ：半導体のコストを抑える優れた設計 半導体製造では、時間が極めて重要であり、また適切な温度管理も不可欠です。そのため、私たちはこれらの高温型赤外線ハロゲンランプを開発しました。これらは使いやすく、既存の設備に簡単に組み込むことができます。 力率、電圧、サイズ――用途に合わ...

製造現場においては、フォトレジストの露光や加熱処理の段階では、温度の変動を許容できません。ランプの出力が数度だけ変動しても、熱バランスが崩れてしまい、工程が停止してしまいます。私たちは、シフトごとに熱バランスを維持するために、この特殊なフィラメントを開発しました。 技術的に重要な点 このフィラメン...

製造現場では、ご存知の通り、チップ接着用の接着剤が適切に硬化しなければなりません。もし硬化度にわずか1度でもばらつきがあると、ワイヤーボンディングの強度やチップの破壊力に影響が出てしまい、結果として再作業や廃棄処分を余儀なくされます。ですから、工程カードで指定された場所に正確に熱を加え続ける必要が...