リソグラフィー装置のフロア上では、低温での焼成による影響は明らかな故障としては現れません。代わりに、線幅の変動やレジスト内に残留する溶剤、そして数時間後に発生するスクラップといった問題が現れます。必要なのは、回を重ねても、レジストの温度を所定の範囲内に保つことができるランプです。 技術的に重要な点...

リソグラフィーの工程において、ソフトベイク時の温度の偏差が半度程度あっても、それは「許容範囲」とは言えません。その場合、ウェーハは廃棄処分されます。フォトレジストの乾燥は温度管理によって左右され、赤外線モジュールは、歩留まりを決定する重要な要素となります。 実際に重要なのは何か 私たちは、ウェーハ...

リソグラフィ工程フロアでは、フォトレジスト剥離中にサポートヒーターが停止するとラインが完全に停止する。ウェーハは残渣で積み上がり、不良率が増加し、スケジューラーは突然対応に追われる。必要なのは、熱制御でトラブルを起こさないことだけである。 技術的に重要な点 当社のフォトレジスト剥離用サポートヒータ...