ウェーハチャンバー内での熱の無駄遣いをやめましょう。 ほとんどの赤外線ランプには、問題があります。つまり、熱があらゆる方向に放出されてしまうのです。半導体ウェーハを加熱する際には、そのエネルギーが基板上に届くことが望ましいのです。高価な機械の内壁に熱が浸透してしまうのは避けたいものです。 機器が巨...

1つの故障したIRランプが全ての製品を台無しにするのを防ぐ 高負荷の半導体製造を行っている人なら、その悩みはよくわかるでしょう。1つのIRランプが故障するだけで、単にヒーターが使えなくなるだけではありません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが至る所に散乱し、製造現場が混乱状態に陥ります。 1...

マシンを加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう。 IRランプの問題点は、放射能があらゆる方向に放出されることです。反射器がなければ、エネルギーの半分が逆方向に向かい、機器の筐体や内壁を過度に加熱してしまいます。 半導体製造装置では、これは大きな問題です。結果として「高温の壁」ができてしまい、...