たった1本のチューブが破損しても、全体の製品が台無しになってしまうことがあります。それは悲惨な状況です——重負荷によって赤外線チューブが破損し、ウェーハがガラスの破片やハロゲン系の残留物で覆われてしまいます。そうなると、そのバッチ全体が廃棄処分になってしまいます。 私たちも同じ経験をしました。だか...

バイオセンサー製造における適切な温度管理 バイオセンサーを製造する際、温度は非常に重要です。ポリマーの硬化や生物活性層の形成には、正確な温度が必要です。そうでなければ、製品全体が使い物にならなくなってしまいます。 長年にわたり、多くの人々は対流式オーブンを使用してきました。しかし、スマートファブを...

なぜバイオセンサーやチップの製造に赤外線を使用するのか？ バイオセンサーを作るときは、微妙なバランスが求められます。ポリマーや試薬を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、熱を過度に与えると基板が損傷し、全体がダメになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線ランプを利用します。部屋の空気...

オーブンを待つのはやめましょう：なぜファブでIR加熱が強制送風より優れているのか もし依然としてホットエア循環方式を使ってウェハを加熱しているのであれば、それは本来不要な待ち時間を過ごしているだけです。 強制送風方式の仕組みを考えてみてください。まず空気を加熱し、その空気が部品を温めるのを待つので...

壁を加熱するのをやめよう：水素センサーを作るためのより良い方法 水素センサーを作るとき、温度は非常に重要です。しかし問題は、多くの人々が半導体製造装置の内部全体を加熱しようとしている点です。これは明らかな無駄遣いです。 さらに悪いことに、これは安全上のリスクも伴います。通常の対流式加熱器や「全体を...

バイオセンサーのための適切な温度管理 バイオセンサーを作る際には、非常にデリケートな有機層を扱うことになります。温度を間違えるだけで、全体の製品が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは短波長の赤外線を利用します。クリーンルームでは空気全体を加熱するのは問題が多いのですが、赤外線なら基板に直...

CNTヒーターを使って無鉛環境での適切な乾燥を実現する 半導体業界では、「グリーン」で無鉛の基準へと移行しようとしています。理論上は素晴らしいことですが、実際に作業を行う側からすれば、大変な苦労が伴います。従来の対流式オーブンやIRランプは使い勝手が悪く、大量のエネルギーを浪費し、温度が上がるのに...