红外灯用铝制反射器

停止为机器本身加热，而是将热量直接传递到晶圆上吧。 红外灯的缺点在于：它们会向各个方向散发热量。如果没有反射器的话，一半的能量会直接逸散掉，从而加热设备的机壳和内壁。在半导体制造设备中，这种情况简直就是一场灾难——过高的温度不仅可能伤害人员，还会导致工艺温度出现波动，而工艺温度本应保持稳定。 因此...