光阻干燥红外模块

在晶圆加工过程中，如果软烘烤时的温度偏差超过半度，那就已经超出允许范围了，这样的晶圆自然会被废弃。光刻胶的干燥程度取决于温度控制是否精确，而红外模块则是决定产品合格率的关键因素。 真正重要的因素是什么？ 我们使用的红外光刻胶干燥模块能够将晶圆表面的温度控制在±0.1°C以内，同时确保每次烘烤过程的...