洁净室烤箱红外加热器
为何我们如此重视洁净室加热器中的绝缘性能 在运营洁净室时,最不希望看到的就是加热元件开始释放颗粒物或有害气体。那简直就是一场灾难。我们会使用专门的红外灯来确保环境保持洁净,但还有另一个问题让我夜不能寐——那就是电气故障。
如果在洁净室内有灯具发生故障,那就不仅仅是部件损坏的问题了。这意味着整批产品...
半导体实验室烤箱灯
在芯片制造厂中,光阻烘烤步骤是不可或缺的——这是工艺要求。即便晶圆表面的温度偏差只有0.5摄氏度,也会影响关键尺寸,进而降低产品的良率。正因如此,我们专门为这种需求设计了半导体实验室用烤箱灯。
真正重要的其实是红外技术的精度。我们的近红外灯能够产生亚毫米级的均匀热场,从而确保晶圆表面的温度控制在...