停止在晶圆处理腔室中浪费热量 大多数红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发。而在加热半导体晶圆时，我们希望热量能够直接作用于晶圆表面，而不是被浪费在昂贵的机器内部结构上。 如果设备变成了一个巨大的“散热器”，那就麻烦了。不仅会浪费电能，机器的框架还会因为热量而膨胀。这无疑是个麻烦的问题。 如...

停止加热墙壁：制造氢传感器的更好方法 在制造氢传感器时，温度是至关重要的因素。但问题在于：大多数人试图加热半导体装置内的整个空间。这其实是一种极大的能源浪费。 更糟糕的是，这样做还会带来安全隐患。如果使用传统的对流式加热器或那种能加热整个空间的加热器，设备的墙壁会吸收大量热量。这样一来，设备壁面就...

如何确保红外加热器在化学环境下安全使用 如果在化学清洁区域使用红外灯，那你肯定知道其中的风险。因为必须不断与那些具有可燃性的蒸汽和液体作斗争，而普通的石英管显然无法承受这样的环境。 为了解决这个问题，我们采用了智能传感器以及密封装置。这些装置相当于一种屏障，能够将有害气体隔绝在热源之外。 包装结构...

在晶圆加工过程中，每一瓦特的能量都必须得到充分利用。传统的做法是使用普通温度传感器，但这只会让大量热量白白散失到空气中。既然如此，我们便设计出了另一种传感器：这种传感器被黄金包裹着，能够将热量重新引导回需要的地方。 其原理很简单：尽可能多地将可用热量传递给晶圆，而不是让它浪费掉。 热量的有效利用...

请观察晶圆从清洗站出来时的状态。晶圆上不允许有水痕存在。光刻胶无法承受温度上的突然变化。如果干燥设备无法达到理想的温度，那么产品的合格率就会下降——这就需要重新加工，进而导致更多产品被报废。 从技术层面来看 我们设计的MEMS传感器晶圆干燥器采用了响应迅速、适用于洁净室的加热元件以及石英基的热设计...