高能效晶圆加热器

为什么我们要如此重视晶圆加热器的绝缘性能测试 我们制造的晶圆加热器必须具备极高的效率，同时还要满足严格的热性能要求。问题在于，当大量电能被集中在狭小的空间内时，容错率极低。一旦绝缘层出现哪怕微小的漏电现象，设备就会失效，或者导致基板受到污染。 因此，我们绝不采用“抽查”的方式。每一件离开我们工厂的...