莱宝真空加热器备件

在晶圆车间，光刻胶烘烤不仅仅是烘烤——它涉及热预算。场内仅半度的温差都可能导致关键尺寸偏移，且热量分布不一致会迅速降低良率。当Leybold真空加热器性能下降时，光刻公差趋紧，晶圆甚至还未进入刻蚀阶段，报废率就开始上升。 技术关键点 我们的Leybold真空加热器备件采用近红外（NIR）短波元件，...