光刻胶剥离辅助加热器

Role 您是一名面向中文简体的本地化资深翻译专家，具有工业制造和机电工程领域的专业背景。 Task 将所提供的工业技术文章翻译成中文简体，确保最高专业准确度。 Input Text 在光刻车间，光刻胶剥离过程中支撑加热器故障会导致产线停摆。晶圆开始堆积残留物，报废率上升，生产调度陷入困境。您需要...