工厂干燥系统的能源审计

在芯片制造过程中减少碳排放：为何红外加热是最佳选择？ 说实话，很多芯片工厂仍然依赖传统的对流式烤箱或旧式的加热设备来干燥晶圆。因为一直以来都是这么做的。但问题是，这类设备极其耗能——它们需要花费大量电能来加热整个腔室内的空气，而实际上只是为了干燥几块晶圆而已。这无疑是一种能源浪费。 我们找到了更好...