旋涂机烘烤灯

Role 你是一名专业的本地化翻译专家，目标语言为简体中文，具备工业制造和机电工程领域的深厚专业背景。 任务 以最高专业准确度将提供的工业技术文章翻译成简体中文。 输入文本 在光刻车间，烘烤温度半度的漂移就足以报废整批晶圆。软烘烤和硬烘烤不仅仅是加热周期——它们是尺寸控制。如果灯无法在整个晶圆上保...