用于光刻机的石英玻璃防护罩

为什么在半导体制造厂中需要石英玻璃屏蔽层 在半导体制造厂里，热量管理至关重要。哪怕温度出现微小的变化，都可能导致一批昂贵的晶圆变成废品。我们通常使用红外线加热灯来加速晶圆的固化过程，但这样的加热灯绝不能直接暴露在空气中。这时，石英玻璃屏蔽层就派上用场了——它相当于加热元件的“保镖”。 关于热量与纯...