高能效晶圆加热器
为什么我们要如此重视晶圆加热器的绝缘性能测试 我们制造的晶圆加热器必须具备极高的效率,同时还要满足严格的热性能要求。问题在于,当大量电能被集中在狭小的空间内时,容错率极低。一旦绝缘层出现哪怕微小的漏电现象,设备就会失效,或者导致基板受到污染。
因此,我们绝不采用“抽查”的方式。每一件离开我们工厂的...
工厂干燥系统的能源审计
在芯片制造过程中减少碳排放:为何红外加热是最佳选择?
说实话,很多芯片工厂仍然依赖传统的对流式烤箱或旧式的加热设备来干燥晶圆。因为一直以来都是这么做的。但问题是,这类设备极其耗能——它们需要花费大量电能来加热整个腔室内的空气,而实际上只是为了干燥几块晶圆而已。这无疑是一种能源浪费。
我们找到了更好...
节能型半导体加热器
如何避免碎屑问题:如何在100级洁净室中正确控制加热过程
如果您正在运营100级(ISO 5标准)的洁净室,那么您肯定了解气体释放带来的危害。哪怕只有一小块碎屑或少量挥发性有机化合物在高温环境下接触到芯片,都会导致产率大幅下降。
普通的加热元件并不可靠——它们容易脱落或损坏。因此,它们并不适合用于...