聚酰亚胺烘烤红外灯

在线生产时钟不会等待任何人。一片300 mm的晶圆从涂布进入软烘烤，然后进入曝光阶段，而你在最初几分钟内设定的热预算决定了关键尺寸（CD）均匀性、侧壁角度，最终影响良率。当烘烤灯开始漂移，在整片晶圆上产生热点，或完全失效时，生产线停摆，排队积压，且每片晶圆的成本在第一个图案写入前就开始上升。 聚酰...