半导体实验室烤箱灯

在芯片制造厂中，光阻烘烤步骤是不可或缺的——这是工艺要求。即便晶圆表面的温度偏差只有0.5摄氏度，也会影响关键尺寸，进而降低产品的良率。正因如此，我们专门为这种需求设计了半导体实验室用烤箱灯。 真正重要的其实是红外技术的精度。我们的近红外灯能够产生亚毫米级的均匀热场，从而确保晶圆表面的温度控制在...