别再把能量浪费在无用的加热上了：更好的晶圆固化方法 说实话，半导体制造厂可是能源消耗的“巨无霸”。如果看看这些能量都用到了哪里，就会发现其中很大一部分都被浪费在了产生热能上。 多年来，人们一直使用大型对流式烤箱来进行晶圆固化处理。但问题在于：为了使晶圆达到合适的温度，不得不花费大量能量来加热整个腔...

为什么我们在晶圆固化过程中放弃热风加热，转而使用红外反射器？ 如果您从事过半导体加工工作，就应该知道热风循环加热的弊端。这种方式的效率极其低下——实际上，我们是在让一整个空间的空气变热，只为让少量热量传递到小小的晶圆上。这就好比试图先加热车道来为房子供暖一样。 正因如此，我们才转向使用红外线加热。...