用于晶圆的精密红外传感器

停止在晶圆处理腔室中浪费热量 大多数红外灯的问题在于：它们会将热量向各个方向散发。而在加热半导体晶圆时，我们希望热量能够直接作用于晶圆表面，而不是被浪费在昂贵的机器内部结构上。 如果设备变成了一个巨大的“散热器”，那就麻烦了。不仅会浪费电能，机器的框架还会因为热量而膨胀。这无疑是个麻烦的问题。 如...