MEMS传感器晶圆干燥加热器

请观察晶圆从清洗站出来时的状态。晶圆上不允许有水痕存在。光刻胶无法承受温度上的突然变化。如果干燥设备无法达到理想的温度，那么产品的合格率就会下降——这就需要重新加工，进而导致更多产品被报废。 从技术层面来看 我们设计的MEMS传感器晶圆干燥器采用了响应迅速、适用于洁净室的加热元件以及石英基的热设计...