晶圆除湿灯

在制造车间里，清洁后残留的湿气可不是小事。这些湿气会在光刻过程中渗透进感光剂中，从而影响产品的尺寸精度，最终导致产量下降。而晶圆除湿灯则能解决这个问题——它在光刻过程开始之前就清除晶圆表面的湿气，从而避免感光剂受到损害。 关键设计要点 我们采用了石英外壳内的短波卤素发光体作为光源。这样的设计能够实...