为何我们使用带黄金反射器的红外线固化器 在半导体行业中，人们一直致力于实现“无铅”和零排放的工艺。从理论上来说，这确实很理想，但传统的对流式烤箱却无法满足这一要求。因为它们需要大量能量来加热炉内的空气，而非直接加热被加工的部件。 因此，我们转而使用带有黄金反射器的红外线灯。这样一来，热量就可以直接...

在晶圆车间，秒是衡量单位，温度漂移是等待发生的良率损失。在光刻胶处理过程中，软烘烤是清除溶剂并设定薄膜均匀性的过程；硬烘烤则锁定了必须在刻蚀过程中存活的交联。如果您的热源无法立即达到设定点并在整个晶圆上保持该温度，您将面临线宽变化、边缘珠和剩余溶剂缺陷的问题。 底层的关键因素 我们使用快速响应的红...