晶圆加热的安全距离

在光刻车间中，光阻烘烤过程其实是一个对温度控制要求极高的工序。如果温度偏差达到10毫秒，或者加热器与晶圆之间的间距出现1毫米的误差，那么就很容易导致图案变形、边缘缺陷，甚至使得整批产品无法使用。因此，为晶圆加热而设定的安全距离并非只是为了方便操作，而是为了确保产品的合格率以及设备的正常运行。 我们...