避免一只损坏的红外灯毁掉整个生产批次 如果你们正在进行高负荷的半导体生产，那么你就知道这有多麻烦了。一旦有一只红外灯损坏，那么不仅需要处理那只坏掉的灯，还要面对满地玻璃碎片和钨丝的混乱局面。一次这样的故障就足以让整批晶圆报废。这不仅很麻烦，而且成本极高。 正因如此，我们才设计了这种陶瓷端盖。 将碎...

停止为机器本身加热，而是将热量直接传递到晶圆上吧。 红外灯的缺点在于：它们会向各个方向散发热量。如果没有反射器的话，一半的能量会直接逸散掉，从而加热设备的机壳和内壁。在半导体制造设备中，这种情况简直就是一场灾难——过高的温度不仅可能伤害人员，还会导致工艺温度出现波动，而工艺温度本应保持稳定。 因此...