可持续的制造解决方案

别再等待烤箱升温了：为何在半导体制造中，红外加热比强制空气加热更高效 如果你仍然使用强制空气循环来为晶圆加温，那其实是在做无谓的等待。 想想强制空气加热的原理吧：先加热空气，然后再等待空气把部件加热。这个过程非常缓慢，而且还会出现令人烦恼的延迟现象。在半导体制造厂里，这种延迟意味着极大的成本浪费。...