蓝宝石晶圆处理加热器

在晶圆车间，该2英寸蓝宝石晶圆正置于光刻轨道下，等待软烘烤。需要在整个表面保持110°C，而不仅仅是热电偶的读数。温度低于此值，光刻胶轮廓会发生漂移；温度过高，则会消耗过多的热预算。 技术上真正关键的因素 用于蓝宝石晶圆加工的加热器是短波红外线（SWIR）石英发射器。它们能够快速且直接地传递热量，...